Cristal de tantalato de litio y su aplicación - 08

3 La principal aplicación del cristal de tantalato de litio.

3.1 Filtro de onda SAW

Peng et al. grabado de iones usadoaproceso tantalato de litio(LT)cristalespara obtener un resonador de cristal de alta frecuencia fundamental. Utilizaron este resonador de cristal para diseñar un filtro de banda ancha de alta frecuencia, que mejoró la frecuencia de funcionamiento y la confiabilidad del filtro y aumentó el número de El ancho de banda del filtro garantiza la estabilidad de alta temperatura y la baja pérdida de inserción del filtro. Los resultados de la prueba de este filtro muestran que el cristal de tantalato de litio procesado porion grabandopuede aumentar el límite superior de la frecuencia de funcionamiento del filtro. Si el proceso de grabado iónico esaplicado a una película de cristal de tantalato de litio de nivel nanométrico con una frecuencia superior a 2 GHz, se puede preparar un resonador de ondas acústicas masivas de película delgada monocristalina con un gran ancho de banda y un buen coeficiente de temperatura. zhanget al. optimizó el proceso de grabado de iones y utilizó grabado con haz de iones intermitente paraproceso cristales de tantalato de litio, que evitaron el problema de las microfisuras en el área de grabado y redujeron con éxito laespesor de la obleade60 micrasa30μm. A A través de esta oblea se preparó un filtro de cristal de tantalato de litio de banda ancha de alta frecuencia fundamental con una frecuencia central de 70 MHz y un ancho de banda de 3 dB de 1109 kHz. Cao Yanghizo filtros SAW pora nosotrosen tecnología de serigrafía y tinta-chorroimpresión sobre tres materiales: cuarzo, niobato de litiocristal (cristal LN, www.wisoptic.com)y tantalato de litiocristal. Una vez completada la preparación, se compararon sus características piezoeléctricas y al mismo tiempo se probó el rendimiento del filtro. Al probar la morfología y el rendimiento eléctrico del filtro, los resultados muestran que el filtro SAW preparado con niobato de litio y tantalato de litio como sustratos piezoeléctricos puede satisfacer las necesidades de uso. Rubí y col. desarrolló un nuevo tipo defiltro de sierra de siliciouniendo ltantalato de itiohacia Sustrato híbrido basado en silicio, que proporciona compensación de temperatura, buen rendimiento de manejo de energía y elimina los modos espurios generados entre la interfaz LT/Si. Una de las ventajas de esta tecnología es que se pueden integrar tantos filtros como sea posible en un solo molde, lo que exhibe el rendimiento inherente de ondas acústicas de superficie con compensación de temperatura de alta calidad y ahorra costos y área. Wu et al. Estudió un dispositivo de ondas acústicas de superficie horizontal con excelente estabilidad de temperatura y baja pérdida en un dispositivo ultrafino.YPelícula de tantalato de litio orientada a 42° sobre un sustrato de zafiro, con una frecuencia de resonancia de 1,76~3,17GHz yelacoplamiento electromecánico eficazEl coeficiente es 5,1% ~ 7,6%. El filtro con una frecuencia central de 3,26 GHz tiene una supresión de banda de paso espuria, un ancho de banda de 3 dB del 3 % y una pérdida de inserción mínima de 2,39 dB. Además, se compararon guías de ondas coplanares y resonadores SAW construidos sobre películas de tantalato de litio y sustratos de tantalato de litio a 25°C a 150°C. Después de la prueba, a 150 °C, la impedancia del filtro de película de tantalato de litio se atenuó a 3,7 dB, mientras que la atenuación de la impedancia del filtro de sustrato de tantalato de litio alcanzó 9,6 dB, lo que indica que el sustrato del filtro de película de tantalato de litio tiene un excelente rendimiento de radiofrecuencia.bajo variostemperatura.

El resonador es la unidad básica del filtro y su rendimiento tiene un gran impacto en el rendimiento del filtro. Como los terminales de comunicación tienen requisitos de rendimiento cada vez mayores para los filtros, los filtros SAW de tipo resonador se utilizan ampliamente porque pueden resolver problemas como el tamaño pequeño, el bajo consumo de energía y la baja pérdida de inserción. El componente básico del circuito del filtro SAW tipo resonador es el resonador. La SAW excitada por el transductor interdigital se refleja de un lado a otro entre las dos rejillas de reflexión para formar resonancia. Al ajustar la frecuencia resonante y la frecuencia antiresonante del resonador, se puede obtener un filtro de paso bajo , un filtro de paso alto , un filtro de paso de banda o un filtro de eliminación de banda . El resonador puede aumentar la frecuencia resonante y la frecuencia central del filtro y reducir la supresión fuera de banda del filtro. La frecuencia de funcionamiento del filtro SAW tipo resonador es generalmente de 10 MHz a 1 GHz y la pérdida de inserción es de 1 a 5 dB.