Cristal de tantalato de litio y su aplicación - 09

3 La principal aplicación del cristal de tantalato de litio.

3.1 Filtro de onda SAW

Yang Qing - rui y otros diseñaron un filtro SAW resonador utilizando LiTaO ₃/SiO ₂/Si  sustrato. Las Figuras 3 y 4 son fotografías ópticas del dispositivo e imágenes de microscopía electrónica de barrido parcial del dispositivo, respectivamente. Los electrodos interdigitados del dispositivo en la imagen son claros y no se observa adherencia. Serán analizados y optimizados más adelante. 

Se puede ver que aumentar el número de pares de electrodos o la apertura de los electrodos del resonador puede mejorar el coeficiente de rendimiento del dispositivo en sí, y el número de pares de electrodos tiene un mayor impacto en el rendimiento .  Soy un resonador con la misma capacitancia estática,  el valor más bajo de  Cuanto mayor sea la relación entre la apertura del electrodo y el número de pares de electrodos, mayor será el coeficiente de rendimiento del dispositivo . El coeficiente de acoplamiento electromecánico primero aumenta y luego disminuye a medida que aumenta el período del electrodo.

Kimura  T y col. estudiaron la aplicabilidad de un dispositivo de ondas acústicas utilizando un transductor interdigital colocado sobre una delgada placa de cristal piezoeléctrico de 3 a 5 GHz, en el que el rendimiento del dispositivo SAW disminuyó significativamente. Esto demuestra que el factor de calidad Q  de la capa estructural compuesta usando LiTaO ₃/SiO ₂/Si es de 3 a 4 veces mayor que la de 42° Y - X  LiTaO3 _{_}  (42-LT) material a granel. Se fabricaron tres tipos de dispositivos de dientes de sierra utilizando un escáner/paso a paso KrF, y se comparó su rendimiento en todos los aspectos: un resonador de 3,5 GHz conectado a un sustrato de Si mediante una placa giratoria de LiTaO3 con corte en V; Resonador de 5GHz usando placa X-cut-LiNbO3; Resonador independiente en modo A1-Lamb de 5,4 GHz en Z-cut-LiNbO ₃  (www.wisoptic.com) placa. Los resultados muestran que estos dispositivos también tienen un rendimiento excelente entre 3 y 5 GHz. Fu Chen y otros utilizaron el software ANSYS para realizar análisis de elementos finitos de 36° YX -LiTaO ₃  (www.wisoptic.com) y diseñó un método general y eficaz para analizar resonadores de ondas con fugas. Kadota Michio et al. diseñaron un resonador SAW utilizando ondas de corte horizontales (SH) confinadas en una fina capa de tantalato de litio sostenida por un sustrato de cuarzo (Qz). La relación de impedancia medida alcanzó los 84 dB. Por otro lado, debido a la naturaleza única del cuarzo, las ondas parásitas distintas de SHSAW no están confinadas en la capa LT, lo que da como resultado características libres de estímulos en un amplio rango de frecuencia. yan  xiong  shuo et al. utilizó tecnología de haz de iones enfocados (FIB) para preparar un factor de alta calidad basado en el resonador LT de película LT-on-Insulator (LTOI). El microdisco LTOI logró una potencia de salida del segundo armónico de 2 μW con una potencia de entrada de 500 mW. Al mismo tiempo, también se observó en el dispositivo la generación de terceros armónicos en cascada.